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所有权人:南京航空航天大学技术转移中心发布时间:2021-11-03
所属行业:新型能源状态:已审核
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技术成熟度:通过中试
省(国)别:江苏省
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技术交易方式:技术转让,技术入股,技术咨询,许可使用,合作生产,其他方式
技术转让价格:面议 万元
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技术详细介绍:
透明导电薄膜是指那种对可见光的平均透过率高(T ³ 80%)、电阻率低(ρ£10-3 Ω·cm)的薄膜,在太阳能电池、平板显示器、薄膜晶体管、气敏元件、抗静电涂层等领域具有广阔的应用前景。传统的透明导电薄膜是指氧化铟锡(俗称ITO),ITO中其透过率和电阻率分别由SnO2与In2O3之比来控制,一般SnO2:In2O3=1:9。由于铟是一种稀缺金属,近年来人们一直在探索其他的替代材料。Zn是地壳中蕴藏量较丰富的一种元素,本项目采用磁控溅射法和溶胶-凝胶法制备的掺铝氧化锌(AZO)透明导电薄膜,对可见光平均透过率大于90%,电阻率低于5´10-4Ω·cm,具有广阔的应用前景。已发表科研论文十多篇。
1.利用磁控溅射技术结合原位加热方法,在玻璃衬底上生长高质量AZO薄膜;
2.利用磁控溅射技术通过调节生长气压和射频功率,在室温下柔性衬底上制备高质量AZO薄膜;
3.采用对设备要求低、原材料价格低廉的溶胶-凝胶法制备技术;
4. 特殊气氛下热处理技术;
5. 场诱导结晶技术。